超聲波清洗機根據清洗對象，可以分為三個超聲波頻段：低頻段超聲波清洗(20~50kHz)，高頻超聲清洗(50~200kHz)和兆赫超聲清洗(700kHz~1MHz以上)。根據人們的研究和試驗發現，低頻超聲波的空化強度高，且頻率越低清洗效果越好，但在實際的清洗過程中會產生較大的噪音，一般來講，如無特殊要求超聲波頻率通?？刂圃?0kHz。低頻超聲波適合于清洗尺寸較大物體表面或者表面污垢比較頑強的物體，但不適合于清洗結構復雜和較為精密的物體，需采用高頻超聲波進行清洗，因此，運用超聲波清洗機清洗計算機、微電子元器件時應該選擇高超聲波頻率。
當超聲波清洗機清洗集成電路芯片、硅片等微米級的污垢時，波長為20~200kHz的超聲波都無法滿足清洗的要求，只有700kHz以上波長的超聲波才能在不破壞電路芯片等物體的前提下，將上面的污垢清洗干凈。兆赫超聲清洗不會產生空化效應，超聲波清洗機是通過聲壓梯度、粒子速度和聲流作用清潔電路上的污垢。
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